Продемонстрирована возможность использования предложенной модели стохастических дендритов в процессе самоорганизации для моделирования процессов электроосаждения и электрохимической миграции. Показано соответствие результатов экспериментам, сделан вывод о возможности использования модели для оценки ключевых параметров производства микроэлектроники.
展开▼