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【24h】

反応性スパッタ法でローラ上に形成したMo-S-O膜の酸素含有量と潤滑特性の関係

机译:反应溅射法在辊子上形成的Mo-S-O薄膜氧含量与润滑性能的关系

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摘要

真空中で優れた潤滑特性を有するMoS_2固体潤滑膜を真空ロボット用軸受に適用する場合,真空中はもちろん,試運転を行う環境である大気中での潤滑特性も優れていることが要求される.しかし,MoS_2は真空中に比べ,大気中では潤滑特性が低下することも多い.MoS_2スパッタ膜の長寿命化に関する研究のなかで,膜の表面層を20~30%酸化すると寿命が長くなるという報告がある.この内容を確認する研究も行われているが酸化物の効果は明確にされていない.最適な量の酸化物を含むMo-S-O膜を予め形成すれば,両環境で優れた潤滑特性が得られる可能性がある.
机译:在真空中将具有优异润滑性能的MoS_2固体润滑膜涂在真空机器人的轴承上时,不仅在真空中,而且在进行试验操作的环境的气氛MoS_2中都要求具有优异的润滑性能。 在延长MoS_2溅射膜寿命的研究中,有报道称,膜表层氧化20~30%可延长膜的寿命。

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