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反応性イオンエッチングと集束イオンビーム加工を併用したマイクロ流体デバイスの作製

机译:反応性イオンエッチングと集束イオンビーム加工を併用したマイクロ流体デバイスの作製

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摘要

マイクロ流体デバイスは,微細加工技術を用いて一つの微小流路内にマイクロ·ナノスケールの微細構造を集積化した技術である.分析に必要な多くの微細構造を小さな面積内に集積化することで少量の試料で高精度かつ高速な分析が可能であること,微細加工技術を用いて構造や寸法を精密に制御することで分析性能の設計が可能であることの利点から,これまではDNA分子やタンパク質,細胞などの化学分析において多く用いられてきた.このような化学分析用マイクロ流体デバイスは,試料の前処理,反応,濃縮,分離,検出などの化学分析に必要な操作を集積化できることから,Micro total analysis systems(Micro-TAS, U-TAS)やLab-on-a-chip(LOC)とも呼ばれる.マイクロ流体デバイスは,分析化学,薬学,遺伝子学,細胞生物学,環境学などの分野に用いられてきた一方で,化学分析を越えて,粘度や流れ場計測などのレオロジー計測にも用いられており,この技術がさらに他分野に展開されることが期待される.そこで本稿では,筆者がこれまでに提案してきたマイクロ障壁型流体デバイスについて,微細加工技術を用いたマイクロ流体デバイスの作製方法と作製結果を中心に解説する.最後に,マイクロ障壁型流体デバイスを用いた巨大DNA分子のサイズ分離についてその成果を紹介する.

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