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走査型電子顕微鏡を用いをモード測定

机译：走査型電子顕微鏡を用いをモード測定

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エネルギー分散型検出器を装着した電子顕微鏡を用いたモード測定は，半定量分析を基礎に置いているので，大半の造岩鉱物に対しても適用できる。 自動多点分析には（5秒×格子点数と電子線の移動時間），数時間を必要とするが，測定中は，従来のポイントカウンター法と違い，顕微鏡観察に束縛されることはない。 鉱物同定作業時間は，構成鉱物数と総格子点数により異なるが，今回提示した試料の場合，最大2時間程度である。 電子顕微鏡を用いることにより，たとえ電子線の入射位置が取り込み像の中心から外れていたとしても鉱物同定が偏光顕微鏡に比べ確実である。 しかし，粗粒な岩石（平均粒径＞2mm）は，測定画面（EDAX~Rシステムでの最大値は3．2X2．45mm2である）の限界を超えるので，不向きである。 細粒すぎる岩石（平均粒径く100 mum）は，電子ビームが鉱物粒問に照射される確率が上がり，重複鉱物スペクトラムが増え，同定作業が複雑となる。 今回モード測定を実施した平均粒径が200－800 mumの試料は，ポイントカウンター法とほぼ同じ結果が得られる。 従って，平均粒径が0．2－2．Ommの岩石に対して，このモード測定法は有効と判断できる。平均粒径が2mmより粗粒な岩石に対しては，波長分散型のⅩ線分析システム等に装着されているステージ移動システムが必要となる。

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