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軟Ｘ線フルエンス標準の確立へ向けて

机译：軟Ｘ線フルエンス標準の確立へ向けて

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波長にして0.1nm～10nm程度の波長の長いＸ線は軟Ｘ線と呼ばれており、近年の放射光などの大強度光源の開発により、その利用に注目が集まっている。 例えば、現在コンピュータの中央処理装置（CPU）の製作において、90nmのリソグラフィー技術が回路の転写に使われているが、更に集積度を増した高速のCPUを作るために13.4nmリソグラフィーに向けての研究開発が始まっている。 この中で、軟Ｘ線の絶対強度（もしくはフルエンス：単位面積あたりの入射光子数）は転写用レジストへの照射量を決定する重要なパラメータであり、正確に測定できることが要求される。 また、生体の主要構成元素である酸素、炭素等のK-Ｘ線はこの波長領域にあり、分析や照射効果の研究でも計量標準の必要性が高まっている。

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