コンタクトレンズの超精密加工

稲田幸一; Koichi Inada

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コンタクトレンズの超精密加工

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超精密加工は今や，ナノメータからサブナノメータの領域に入ったと言われている．今回試作した加工機の基本機能は，工具とワークの相対位置関係を理想状態に保った時,工具が加工表面を精密に転写することを要求した．次に機械について具体的に説明する．今回採用したX-Z円弧補間の場合，回転軸をいかに高精度に回転させワークと相対位置関係にある工具の位置を精度よく出すかということ，そして加工中に発生する外乱を問題のない領域までいかに排除するかということに着眼点を置いた．この回転精度，位置精度，外乱排除の限界値が超精密加工の到達レベルになるものと考えられる．回転精度，位置精度，外乱を最小にした超精密旋盤加工実績を報告する．本機は主軸に静圧空気軸受，移動案内面に油静圧を使用した．またこれらの要素をエアクッションで支持された石定盤上に配置し，高剛性の機械構成をなしとげた．以下に各要素について述べる．

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来源
《日本機械学会誌》 |2003年第9期|722-723|共2页
作者
稲田幸一; Koichi Inada;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类 TH-53;
关键词

コンタクトレンズの超精密加工

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