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X線光電子分光法(XPS)による表面界面分析の基礎

机译:X線光電子分光法(XPS)による表面界面分析の基礎

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摘要

トライボロジー研究にとって摩擦前後の表面状態を化学的な視点でモニタすることは重要であると思われる.化学分析と摩擦特性の結果を組み合わせることにより,より進んだトライボロジー研究が可能になる.この記事では特に表面の化学状態,組成などについて有益な情報が得られる光電子分光法(Photoelectron Spectroscopy,PES)のなかでも最もポピュラーなX線光電子分光法(X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS)について簡単に解説する.

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