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測光用光センサのオーバーフィル照射における応答非直線性の評価法の確立

机译:測光用光センサのオーバーフィル照射における応答非直線性の評価法の確立

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摘要

シリコンフォトダィオード(Si PD)を用いた光センサは,熱型や焦電型の光センサと比較して,低い暗電流,高速な応答,広い光パワーレンジや波長帯域で,精密な光計測や評価が可能であるため,測光,測色,放射測定などの分野で多用されている.このような分野におけるSi PDを用いた精密計測では,光センサの出力値を校正することで,光源から放射される光パワーの絶対値測定が可能となる.ところが,この絶対計測可能な光パワー範囲は,数十マィクロワットから数十ミリワットと限定的である.この校正された光センサを用いて,光パワー測定の有用性を最大限に生かすためには,校正された光パワー以外での絶対評価が必要である.

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