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ミクロへの挑戦－微細材料試験の開発

机译：ミクロへの挑戦－微細材料試験の開発

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ミクロンあるいはそれ以下の非常に微小な可動構造物である先端マイクロマシンが，光情報通信，バイオ医療技術を始めとして多くの分野で実用化を目指した研究が進められている（注：マイクロマシンという用語は，主として日本で使用されており，アメリカではMEMS (Microelectromechanical System) ，ヨーロッパではマイクロシステムと呼ばれている．これらは概念が少し違うものであるが，ここではまとめて「マイクロマシン」と呼ぶことにする）．このような先端マイクロマシンの設計にあたっては，マイクロマシンを構成する微細材料の機械的性質を精度よく評価する必要がある．マイクロマシン（特に，MEMS）では，基板上に成膜した薄膜から，半導体製造技術を応用してミクロの構造部材を作製している．

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