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矩形格子のデフォーカス投影による全空間テーブル化手法を用いた形状計測における計測精度の検討

机译:矩形格子のデフォーカス投影による全空間テーブル化手法を用いた形状計測における計測精度の検討

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摘要

一方,全空間テーブル化手法では,余弦波から波形がゆがんでいても,あらかじめキャリブレーションしておくことで精度よく三次元形状を計測できる.そのため,ガラス基板に作られた2値の格子をデフォーカスして投影しても,精度よく三次元形状を計測できると考えられる.しかし,従来研究では,矩形格子のデフォーカス投影による全空間テーブル化手法を用いた形状計測における計測精度の評価が十分でなかった.そこで本研究では,ガラス基板に作られた2値の格子を使って,矩形格子をデフォーカス投影し,投影格子の輝度分布にゆがみを生じさせた場合の精度への影響について検討を行う.

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