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【24h】

半導体#12539;デバイス分野における技術戦略

机译：半導体#12539;デバイス分野における技術戦略

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摘要

過去，機械工学分野は，鉄道，船舶，発電，自動車，航空，宇宙などに代表されるように，独創的な枝術をもつて人類に夢を与えるとともに社会に貢献してきた．21世紀は，半導体，バイオ，ロボティクスがこれに加わると著者は考えている．半導体製造装置の研究開発に所属する著者としては，21世紀の半導体素子が安価で人類に供給され，彼らの生活に夢を与え，より高い文化的な生活を保障することを，また，この基礎をなす半導体生産体系が機械工学によって成されることを望みたい．

著录项

  • 来源
    《日本機械学会誌》 |2001年第1期|12-16|共5页
  • 作者

    東条　徹;

  • 作者单位

    （株）東芝　 研究開発センター　 LSI基盤技術ラボラトリー（〒210-8582　 川崎市幸区小向東芝町1）;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 日语
  • 中图分类 机械、仪表工业;
  • 关键词

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