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電子光学的剛性設計による透過型電子顕微鏡の耐振性の改善

机译：電子光学的剛性設計による透過型電子顕微鏡の耐振性の改善

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本稿は電子顕微鏡の鏡筒の耐振性デザインに関するものである．TEM鏡筒の機械デザインは十数年にわたり大きく変更されていない．一般機械の耐振性向上のための設計指標は軽量·高剛性化であり，電子光学機器においても同様に考えられてきた．TEMの電子ビーム鏡筒は細長く，床振動伝達に起因する弾性変形を抑制するために鏡筒全体の剛性を高めるのは容易でない．しかし，TEMは100万倍という他に類の無い高倍率観察を行う電子光学系を有しており，一般機械とは異なる耐振性の設計指針が与えられるべきである．2章において，一般に耐振性の指標として用いられる1自由度系の振動モデルと，これとは異なるTEM鏡筒の耐振性モデルについて，TEMの概略構造を用いて説明する．そして，今回試みた電子光学的観点に基づく剛性の改良点について述べる．そして，3章において効果の検証実験結果を示し，4章に結言を記す．

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