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マイクロレンズ，インクジェットノズルなど，サブmmサイズでアスペクト比の高い，マイクロ三次元形状を有するデバイスが増えている．このようなマイクロ形状の加工技術として，マイクロ放電加工技術を開発してきた．ここではマイクロ放電加工およびその応用としてマイクロ機械加工技術を紹介する．
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著录项
来源
《日本機械学会誌》
|
2003年第10期
|
826-0
|
共1页
作者
室 真弘;
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作者单位
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收录信息
原文格式
PDF
正文语种
日语
中图分类
TH-53;
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