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加工技術の進展とトライボロジー:機械加工によるマイクロ加工およびナノ加工への挑戦

机译:加工技術の進展とトライボロジー:機械加工によるマイクロ加工およびナノ加工への挑戦

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摘要

筆者らは,この観点から,FFM (Friction Force Microscope,摩擦力顕微鏡)機構を利用したマイクロ·ナノスケール機械加工について研究を行なっている.また,近い将来,このようなマイクロ·ナノ機械加工が活躍する場として,手の平サイズのマイクロ加工機械で構成される「マイクロファクトリ」を試作し,その可能性について検討を進めている.本稿では,これらの成果を示しながら,きわめてトライボロジーと縁の深い機械加工について,そのマイクロ·ナノスケール化へ向けた取組みの一端を紹介する.

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