接液部非金属化を実現した高圧マイクロジェット精密洗浄装置の開発

清家善之

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接液部非金属化を実現した高圧マイクロジェット精密洗浄装置の開発

机译：接液部非金属化を実現した高圧マイクロジェット精密洗浄装置の開発

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高圧マイクロジェット精密洗浄装置は，純水や洗浄液をメガパスカル(MPa)級の高圧部から高速微小液滴として噴射し，物理的に洗浄するもので，半導体デバイスや液晶パネルなどの電子デバイス製造工程において，洗浄力の確実性，信頼性，経済性，環境保全性などで高く評価されている．近年電子デバイスの精密化に伴い，噴射液の品質への要求は厳しくなり，とくに純水中に含まれる金属成分はng/L (PPT)レベルで管理される．従来，メガパスカル級の高圧水を生成する高圧マイクロジェット精密洗浄装置は，耐圧力を確保するために，ステンレス(SUS316)材で構成されていた．今回新しく，耐圧力を確保しつつ，かつ噴射する純水の金属成分をng/Lオーダで管理するために，接液部を非金属にした高圧マイクロジェット精密洗浄装置を開発した．

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来源
《日本機械学会誌》 |2008年第5期|446-446|共1页
作者
清家善之;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类 TH-53;
关键词

接液部非金属化を実現した高圧マイクロジェット精密洗浄装置の開発

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