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百聞は一見に如かず-パルスレーザ加工過程の時間分解観察

机译:百聞は一見に如かず-パルスレーザ加工過程の時間分解観察

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摘要

レーザ加工は,光のエネルギーを短時間に微小領域に集中させて,材料の相変化や化学変化を生じさせて行う,高密度エネルギー加工である.パルスレーザによる加工では,この特徴がよりいっそう鮮明である.レーザの照射点近傍では,温度分布などがきわめて急峻になり,かつ非常に短時間で変動する.そして,レーザエネルギーの大小だけではなく,パルス幅によっても加工現象は変化する.したがって,レーザ加工においては,レーザ照射時から永久的な形状変化までの広い時間スケールにおけるさまざまな現象と,その空間的変化とを把握することが,プロセスを理解するうえで非常に重要である.そのためには,レーザ加工現象の時間分解撮影を行うことが必要である.しかし,加工現象は極めて高速度であり,撮影にも高い時間分解能が要求される.また,通常の撮影法では,高温部からの熱放射やレーザ生成プラズマからの強い発光のみが撮影されてしまい,加工部の形状や状態変化などの観察は困難である.このような困難を解決する方法として,われわれは撮影用の光源にも短パルスレーザを用いて,加工現象の時間分解観察を行っている.この方法には次のような利点がある.

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