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偏光カメラによる計測技術

机译:偏光カメラによる計測技術

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摘要

偏光カメラやピクセル偏光子カメラは,CCDやCMOSなどのイメージセンサの各画素上に方位が異なるピクセル偏光子(マイクロ偏光子アレー)が組み込まれたものである.歴史的に「偏光カメラ」の名称は,ポリマー製の位相子や偏光子を用いた偏光イメージングが学術論文で提案されている.その後,菊田らはリソグラフィによるピクセル位相子偏光カメラ,Wyantらはアルミ製のワイヤーグリット偏光子アレーによる偏光カメラ,および川上らはフォトニック結晶を用いた偏光カメラを提案している.この中で4D Technology社がMoxtek社のアルミワイヤーグリット型マイクロ偏光子アレーを組み込んだマイクロ偏光子カメラ(PolarCam)を実用化した.この偏光カメラを用いたダイナミック·トワイマン干渉計は,先日打ち上げられたJames Webb望遠鏡の検査に使われたという.その後,この偏光カメラを用いたリアルタイム計測として干渉計,ホログラフィック干渉計や偏光ホログラフィ顕微鏡,複屈折計測法が実用化されている.また,偏光する格子パターンを投影することで三次元形状計測も可能としている.このあたりの干渉計応用や傷検査の内容に関してはすでに精密工学会誌や光技術コンタクトに執筆したので参照されたい.

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