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薄膜非晶質合金とそのマイクロ·ナノデバイス応用

机译：薄膜非晶質合金とそのマイクロ·ナノデバイス応用

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IoT（Internet of Things）化の社会において，今後さまざまなモノにセンサやアクチュエータが組み込まれ，それらの情報から新しい価値を生み出し，新規ビジネスの創生に結び付いていくことになる．これらを支えるMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス（センサ，アクチュエータ）には，新たな機能，小型化や低消費電力化など高付加価値が求められる．近年のマテリアルズインフォマティクスやコンビナトリアル技術により，さまざまな新規機能性材料が開発され，マイクロ·ナノデバイスへの応用研究が盛んである．本稿では，特にMEMSの中でも，従来の機械構造として利用されてきたSiに代わる，新しい材料としての薄膜非晶質合金材料やそのマイクロ·ナノデバイスの応用について紹介する．

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