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フェムト秒レーザ光熱還元描画を利用したセンサ試作

机译：フェムト秒レーザ光熱還元描画を利用したセンサ試作

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金属プリンティングは各種マイクロデバイスのオンデマンド製造技術や配線のリペア技術として期待されている．一般的に，インクのパターニング塗布と金属化のための熱処理プロセスの2段階プロセスで行われる．これまでに，スクリーン印刷やインクジェット法を用いたインクのパターニング塗布と，加熱炉やフラッシュライトによる金属化のための熱処理など様々な報告がある．原料インクとしてAuやAgのナノ粒子を用いたインクは実用化されており，次世代配線材料としてより安価なCuが注目されている．しかしながら，CuはAuやAgと比較して酸化しやすく，大気中での金属化は困難である．

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