収束電子回折（Convergent－beam electron diffraction:CBED）法とは，透過型電子顕微鏡（Transmission electronmicroscopy：TEM）を用いて，収束した電子プローブを試料に入射しディスク状の回折図形を得る手法である．1），2）TEMのマイクロスコピー機能と併せて，任意の試料領域を選択して回折図形を得ることができる．CBED法の第一の特徴はナノメータースケールの実空間分解能でのバルク試料の観察である．CBED法で用いる電子プローブサイズは，Fieldemission型の電子銃では1mm程度，従来型のLaB6フィラメントを使った場合で10nm程度である．
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