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精密工学におけるナノ·マイクロ光学技術とその展望

机译：精密工学におけるナノ·マイクロ光学技術とその展望

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光が有する多様な物理特性の中でも，製造現場において特に有用な特性の1つである遠隔伝搬性を享受できることは，基本的には回折限界律速を伴うことを意味する．すなわち，加工エネルギーとしての付加·除去最小単位（加工分解能），計測エネルギーとしての情報取得最小単位（面内計測分解能·観察分解能）は，利用光波の半波長程度が限界となってしてしまうことを意味する．そのため，多様な光エネルギーの優れた特性を，ますます微細化が進むナノ·マイクロ領域のものづくりへ展開するためには，（波長が支配因子となる）回折限界を回避した分解能向上の取組が重要となり，さまざまなアプローチで研究開発が進められている．本稿では，光技術で，ナノ·マイクロ領域を扱う際の，大きな物理的興味の1つである，分解能に着目し，光エネルギー局在性の観点から，精密ものづくりと親和性の高い光学システム基本形態について議論し，展望を述べたい．

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