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3Dプリンテッド·マイクロマシンの進展

机译：3Dプリンテッド·マイクロマシンの進展

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このような従来のMEMSの素材や形状の制限を取り去り，新たなマイクロマシンの世界を切り拓く新技術として，マイクロ3Dプリンティング技術が注目を集めている．3Dプリンティング技術を活用すれば，金属やセラミックスから高分子やゲルのような柔軟材料まで多種多彩な材料を用いて3次元構造を容易に作製できる．また，最近では，単一材料だけでなく複数材料を用いて3D部品を一体造形するマルチマテリアル3D造形技術の開発も進められている．マルチマテリアル3D造形技術が確立されると，さまざまな3D機能デバイスを組み立てなしで一括作製できるようになる．本稿では，マイクロ3Dプリンティング技術の中で最も高分解なマイクロ光造形法の進展について解説した後に，筆者らの20年以上にわたる研究例を織り交ぜながらマイクロマシンへの応用について紹介する．マイクロ光造形の開発とマイクロマシン応用は，いずれも3Dプリンティングが普及するずっと以前から日本の研究者らが開拓してきた領域であり，いまだに無限の可能性を秘めた魅力的な研究分野である．

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