レーザ照射によるシリコン基板上への金ナノ粒子の転写と金の周期パターン形成

比田井洋史; 毛塚翔吾; 松坂壮太森田昇

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レーザ照射によるシリコン基板上への金ナノ粒子の転写と金の周期パターン形成

机译：レーザ照射によるシリコン基板上への金ナノ粒子の転写と金の周期パターン形成

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ここで，LIFT（Laser-Induced Forward Transfer）と呼ばれる転写手法がある．この手法は，透明な基板に金属膜を成膜し，金属膜を成膜していない表面よりレーザ照射することで，金属膜を基板よりはく離させ，わずかな距離をあけて設置した成膜対象に転写する手法である．石英ガラスにパラジウム膜を成膜し，レーザ照射することで，他方の基板に転写した例をはじめ多くの研究例がある．本研究では，金ナノ粒子を容易に付着できるガラス表面に一旦付着させた後，LIFTによりシリコンウエハに転写させた．さらに，金ナノ粒子が付着したシリコンウエハにレーザ照射することで，ナノメートルオーダで金のパターン形成を実現した．

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来源
《精密工学会誌》 |2012年第935期|980-984|共5页
作者
比田井洋史; 毛塚翔吾; 松坂壮太森田昇;
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作者单位

千葉大学大学院;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
关键词

レーザ照射によるシリコン基板上への金ナノ粒子の転写と金の周期パターン形成

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