欠陥分布パターン照合に基づく問題工程特定技術

渋谷久恵; 高木裕治; 細谷直樹

摘要

本研究では，次のような結果を得た．(1) 欠陥分布情報を利用した問題工程特定技術を開発した．インライン検査のウェーハマップから有意形状分布パターンを検出することにより異常を検知し，製造経路情報を利用してその原因となった装置を特定する2種の解析手法を立案した．一つ目は，異常検知されたウェーハを着工した装置の装置QCマップと照合し類似分布パターンを検出する装置·製品QC情報照合解析である．二つ目は，異常検知されたウェーハと近い時期の同じ検査工程の製品QCマップを類似分布と非類似分布に分類し，それらの経路の解析を行う共通経路解析である．目視判定による評価で，これらの解析手法で問題装置の特定が可能であることを確認した．(2) 解析の自動化を目的として，ウェーハ面内の相対的な密度分布を表す密度画像の比較により類似度の定量化を行う欠陥分布照合アルゴリズムを開発した．本アルゴリズムを実ラインで取得したデータに適用し，目視により装置·製品QC情報照合解析で問題装置を特定できた事例12件の分布照合正解率91.7％，問題装置候補なしと判定された事例22件の虚報率0％という評価結果を得た．また，目視により類似分布と非類似分布を分類し，共通経路解析で問題装置を特定できた6事例について，類似分布と非類似分布を100％正しく判定できた．以上により，提案の解析手法を自動化できる見通しを得た．

欠陥分布パターン照合に基づく問題工程特定技術

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