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マイクロバブルの基礎と半導体洗浄への応用

机译:マイクロバブルの基礎と半導体洗浄への応用

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摘要

ビールの中をキラキラと輝きながら立ち上る泡は,愛飲家の目を楽しませてくれる.また,水族館の水槽を漂う気泡は広大な海の広がりを連想させる.このように,泡は我々になじみの深い存在であるが,この泡を小さくするとさまざまな機能を生じることが明らかになってきた.われわれはその機能を利用して,汚れた水を浄化したり,固体表面の洗浄に役立てたりする取り組みを進めている.本稿では,マイクロバブルと呼ばれる微小な気泡について,その表面の帯電性に注目するとともに,半導体洗浄への応用の可能性について検討してみたい.

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