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【24h】

光周波数コムを用いた角度計測

机译：光周波数コムを用いた角度計測

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一方，超精密加工の高精度化微細化および加工物形状の多様化にともない，精密移動ステージの運動誤差計測，高精度非球面·自由曲面の形状計測などにおいては，動的角度変位を高精度，高速，非接触で計測するニーズが高まっている．これらの用途に用いられる角度センサとして，オートコリメーションを原理とするオートコリメータが挙げられる．筆者の研究グループではこれまでに，単波長レーザ光源とフォトダイオード（PD）を組み合わせた高感度，高速，高横分解能の小型レーザオートコリメータを開発し，移動ステージの運動誤差および超精密加工面の形状誤差に応用してきている．また，回折格子反射鏡を用いる3軸レーザオートコリメータも考案し，移動ステージのピッチング，ヨーイング，ローリングの一括計測を実現している．最近では，これらの研究をさらに発展させ，回折格子分光の活用によって，光周波数コムを角度スケールコムに変換するという角度計測の新しいコンセプトを提案し，それに基づく光周波数コムオートコリメータの研究開発を進めている．本稿では，その一部の結果について紹介する．

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