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リエントラントフローショップにおける装置メンテナンス計画に関する研究(第3報)-ロット進捗管理方式の開発と実証実験

机译:リエントラントフローショップにおける装置メンテナンス計画に関する研究(第3報)-ロット進捗管理方式の開発と実証実験

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摘要

本研究では,装置メンテナンス日程に対するWhat-if解析を実施し,装置稼働率向上による生産性向上と生産計画の遵守率を両立する方式を提案した.そして,提案方式の有効性を確認するため,リエントラントフローショップの代表例として,半導体のウエハ製造ラインのデータで試行し,装置稼働率が向上した結果,生産システムのスループット向上と,生産計画の遵守率向上を確認し,提案方式の有効性を検証した.また,生産システムの生産性と製品の納期などの生産計画の遵守率を両立するためには,本開発のDCR値のように,装置のメンテナンス計画を考慮してロットの進捗を管理する方式が有効であることがわかった.

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