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元素識別型3次元電子顕微鏡の開発

机译：元素識別型3次元電子顕微鏡の開発

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近年，ナノメートルオーダーの微細構造を有する材料研究が大きな注員を集めている。 複雑なナノ構造を解明するためには，透過型電子顕微鏡（TEM）レベルの空間分解能での3次元観察が必須である。 また，従来の染色法を用いることなく構成元素を直接識別することが強く望まれる。 現在のTEMは上記の2つの要求を満たしていない。そこで，TEMに高傾斜対応の対物レンズと磁界プリズム（Ωフイルター）を装備することで，複数の試料傾斜像から計算機tomographyを用いて試料切片内部の3次元像を得ること，また電子エネルギー損失現象をΩフイルターで分光し特定の元素の濃度を識別すること，を可能とする新しい電子顕微鏡を開発した。

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