量子分子動力学シミュレーションによる難加工材料の化学機械研磨メカニズムの解明

河口健太郎; 會澤豪大; 樋口祐次尾澤伸樹久保百司

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量子分子動力学シミュレーションによる難加工材料の化学機械研磨メカニズムの解明

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本稿では，量子分子動力学法に基づくCMPシミュレータを活用することによって解明された難加工材料の化学機械研磨メカニズム，ならびにシミュレーションの結果から得られた砥粒やスラリーの設計指針について紹介した．化学機械研磨のみならず，反応性イオンエッチングやプラズマCVDなど，次世代の機械システムおいては，化学反応を理解し，制御することが必須となっている．一方で，機械システムにおける化学反応を実験的に解析することは非常に困難であるため，その理解はまだまだ不十分である．量子論に基づき「化学反応」と「摩擦，衝撃，応力，流体，伝熱」などが複雑に絡み合った現象を解析可能なマルチフィジックスシミュレータの開発は，試行錯誤的であった従来のプロセス設計から，現象の理解に基づいた次世代のプロセス設計という大きなブレイクスルーに貢献するものであると考える．今後，この技術がさらに発展することで，化学反応を積極的に活用した次世代の機械システムの創成を強力に支援することを期待したい．

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来源
《トライボロジスト》 |2014年第12期|780-786|共7页
作者
河口健太郎; 會澤豪大; 樋口祐次尾澤伸樹久保百司;
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作者单位

東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター;

東北大学大学院生;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词

量子分子動力学シミュレーションによる難加工材料の化学機械研磨メカニズムの解明

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