MEMsにおけるステイクションのメカニズムとその対策

土谷茂樹; Shigeki TSUCHITANI

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MEMsにおけるステイクションのメカニズムとその対策

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二つのマクロな物体が接触したりごく近づいた場合，接触部あるいは相対する表面の間に微弱ではあるがある種の力が作用する．この力を「表面間力Jと呼ぶ．表面間力は普段あまり意識されることはないか，微小な填粒子の固体表面への付着やコロイド粒子の凝集を引き起こしたり，小麦粉など粉体の物性に大きな影響を及ぼすことが知られている．

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来源
《トライボロジスト》 |2004年第2期|128-133|共6页
作者
土谷茂樹; Shigeki TSUCHITANI;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词
MEMS; Stiction; Capillary force; Hydrogen bonding; Van der Waals interaction; Electrostatic force; Release stiction; In -use stiction; Hydrophobic coating;

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