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シリコンナノテクノロジー

机译：シリコンナノテクノロジー

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摘要

本稿では，このような観点からシリコンULSIに関した話題に限定し，まずシリコンULSIのスケーリング則の限界と極限を追求する技術について述べ，次にスケーリング則を超えるための技術の現状とその課題について述べる．半導体技術と異分野の融合に関しては，マイクロマシンやバイオ分野への展開が活発化しているが，これらについては本号のほかの解説でも紹介されると思われるので，ここでは割愛させていただく．

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