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弾性表面波リニアモータ

机译：弾性表面波リニアモータ

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超音波モータは磁場の影響を受けず，また，磁場の発生も抑えられる．超音波を励振するための圧電素子のキュリー温度（圧電性や磁性が消失してしまう温度）は，一般に磁石のそれよりも高い．ゆえに，電磁モータを利用することができない環境での利用に向けて期待されているアクチュエータである．弾性表面波リニアモータは，その超音波モータの一種であり，利用している圧電材料のニオブ酸リチウムのキュリー温度は1134℃と高い．また，駆動周波数が高い代わりに振動子を薄型に構成できるため，アクチュエータの小型化，特に薄型化を期待することができる．本稿では，弾性表面波リニアモータの基本構成·基本性能を紹介し，応用する際に必要になると思われる関連技術について紹介する．

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