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超精密／微細加工の周辺技術と将来展望

机译：超精密／微細加工の周辺技術と将来展望

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超精密／微細加工技術は，これまで周辺技術の粋を集めた特別な加工技術として，光学部品などの限られた用途に適用されてきた．この方向性も継続しているが，近年，周辺技術の発展にともない，桁違いに大きな市場を有する精密加工技術との境界が曖昧になる可能性が生じている．例えば，加工技術としては超音波楕円振動切削技術によって需要の高い金型鋼への超精密／微細加工が可能となり，工作機械技術としては静圧案内の運動精度に迫る転がり案内が開発され，工具技術としては安価なダイヤモンドコーティング工具の切れ刃を高速に鋭利化するレーザ加工法が提案されている．こうした周辺技術の進歩によって，超精密／微細加工にとって新しい技術展開の可能性が生まれている．そこで本稿では，それら周辺技術の例を紹介し，筆者が期待する本技術分野の将来像について展望したい．

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