ダブプリズムを用いた接触画像解析に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発に関する研究－パッド表面性状と研磨結果の相関関係

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2011年第921期|883-888|共6页
• 作者

  畝田道雄; 岡部憲嗣; 守屋紀彦澁谷和孝石川憲一;

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• 作者单位

  不二越機械工業株式会社;

  金沢工業大学;

  金沢工業大学大学院;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 日语
• 中图分类 机械制造工艺;仪器、仪表;
• 关键词