日本におけるナノインデンテーション試験機の歴史

岩永幸満

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日本におけるナノインデンテーション試験機の歴史

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数μmオーダーの機能性材料や電子部品，また厚みが数μm以下の薄膜，表面層の硬さ計測には，従来からの押込み硬さ（マイクロビッカース硬さ等）では，その試験力や測定方法により適用が難しい．このため，1985年に，従来の方法とは異なり，圧子押込み時の試験力と押込み深さを計測し，その曲線から微小硬さを求めるナノインデンテーション試験機が商品化された．2002年にはISO 14577-1として規格化され，多くの試験機が開発されており，現在では，薄膜から実用材料，金属からゴム，プラスチックまで本試験方法が適用されている．

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来源
《精密工学会誌》 |2013年第948期|1200-1203|共4页
作者
岩永幸満;
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作者单位

株式会社島津製作所分析計測事業部試験機ビジネスユニット;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类仪器、仪表;机械制造工艺;
关键词
Nanoindentation; Instrumented indentation; Hardness; Thin film; Vickers; Berkovich; Indenter;

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