表面科学と精密工学の接点

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• 来源
  《精密工学会誌》 |2014年第953期|429-432|共4页
• 作者

  高桑雄二; 小川修一;

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• 作者单位

  東北大学多元物質科学研究所;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 日语
• 中图分类 仪器、仪表;机械制造工艺;
• 关键词

  In-situ observation; Real-time monitoring; XPS; UPS; Synchrotron radiation; RHEED; AES; CVD; Thin film growth; Photon-induced reactions; Silicon; Diamond; Plasma-enhanced process;