ナノインデンテーション用圧子先端形状の計測技術と押込み試験への影響

高木智史

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ナノインデンテーション用圧子先端形状の計測技術と押込み試験への影響

机译：ナノインデンテーション用圧子先端形状の計測技術と押込み試験への影響

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近年，ナノインデンテーション装置の分解能が向上しており，押込み深さにして数十nmの押込み試験が可能になっている．このような浅い押込み試験を行う装置の圧子形状を評価する場合，それに対応する圧子先端の極微小領域を測定する必要がある．このような微小領域での三次元形状の測定を可能にするのは，現在のところAFMをおいて他にないといってよい．本稿では，AFMを用いた圧子先端形状の評価技術と，先端形状が押込み試験に与える影響に関する理論的研究について解説する．

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来源
《精密工学会誌》 |2013年第948期|1196-1199|共4页
作者
高木智史;
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作者单位

産業技術総合研究所;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类仪器、仪表;机械制造工艺;
关键词
Nanoindentation; Indenter; Direct verification; Atomic force microscope; Area function; Truncation length; Indentation modulus; Elastic indentation theory;

ナノインデンテーション用圧子先端形状の計測技術と押込み試験への影響

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