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超小型·高性能回転角センサに用いる同軸照射光学系の開発

机译:超小型·高性能回転角センサに用いる同軸照射光学系の開発

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摘要

本報告の内容を以下にまとめる. (1)センサ光学系のコンパクト化を実現する同軸照射光学系を用いた超小型·高性能センサを提案した. (2)円板の組付け誤差により生じる角度検出誤差を一回転1 周期成分と高周波成分に分けて定量化し,円板全周に光線を照射する事により角度検出誤差を補償する受光素子の最適化設計を実施した. (3)受光素子入射光量のアンバランスにより生じる角度検出誤差を定量化し,光線の平行度及び受光素子入射光量分布を最適化した凹面ミラーを設計した.我々は上記光学系設計技術と組立て調整手法の確立等の技術によりスケール円板外形φ11mmの超小型·高性能センサ用の光学系を開発した.今後は更なる小型化·高性能化へ向けた開発を実施する予定である.

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