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【24h】

リソグラフィ装置におけるステージ制御

机译：リソグラフィ装置におけるステージ制御

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LSI（Large Scale Integrated Circuit：集積回路）の高集積化が依然として目覚しい進展を見せていることは，パソコンや携帯電話の新製品発表が相次ぐことなどからも日々実感される．高集積化すなわち半導体素子微細化は，回路#12539;素子パターンをシリコンウェーハ上に生成するリソグラフィ技術によって実現されてきた．そのカバーする領域は多岐に渡るが，レテクル（回路パターンを形成した原版）上に描画された回路パターンをウェーハに転写する露光装置は，その根幹をなすものと言ってよい．

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