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微小切削加工機構の分子動力学解析

机译：微小切削加工機構の分子動力学解析

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高精度#12539;高剛性工作機械と鋭い切れ刃をもつ ダイヤモンド工具を用いた超精密切削加工は，非 球面レンズやミラーのような複雑な曲面，フレネ ルレンズ，マルチステップ回折格子，波面整形素 子，導光板などのようなアスペクト比の高い三次 元形状をもつ光学素子やそれらの型の高精度#12539;高 能率加工のための手段として一般化している．最 近では，これらの光学素子に要求される形状はま すます複雑化し，10nmから1nm台の高い加工 精度が要求されるようになってきた．

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