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マイクロ·ナノ技術による高機能デバイスの実現をめざして

机译：マイクロ·ナノ技術による高機能デバイスの実現をめざして

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筆者が所属する香川大学工学部は，平成9年秋に創設された新しい学部です．当工学部は4学科から構成され，その一つが筆者の属する知能機械システム工学科です．この知能機械システム工学科には現在20名の教員がいますが，そのうち半数以上が企業経験者であり，またその分野も従来の機械系だけでなく，電気，画像処理，制御，人間工学，マイクロファブリケーション等と多岐にわたっています．このため，学生は幅広い分野の勉学ができ，また実践的な研究指導を受けることができます．筆者は，平成12年に日本電信電話株式会社（NTT）研究所から香川大学工学部に異動し，新しい研究室を立ち上げてきました．大学に異動して9年ですが，現在ではさまざまな半導体プロセスや評価設備を自由に活用できる環境にあり，また多くの外部資金を獲得して研究開発を行っています．本稿では，本研究室の概要と研究内容，および教育研究に当たっての筆者の考え方を述べさせていただきます．

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