背景別しきい値設定によるDie-to-Golden Die比較と画像内自己参照比較に基づく高感度複合欠陥検査

前田俊二; 酒井薫; 浦野貴裕

首页> 外文期刊>精密工学会誌 >背景別しきい値設定によるDie-to-Golden Die比較と画像内自己参照比較に基づく高感度複合欠陥検査

【24h】

背景別しきい値設定によるDie-to-Golden Die比較と画像内自己参照比較に基づく高感度複合欠陥検査

机译：背景別しきい値設定によるDie-to-Golden Die比較と画像内自己参照比較に基づく高感度複合欠陥検査

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相关主题

摘要

本研究では，類似度に基づく画像分解による類似カテゴリ単位の欠陥判定や，画像内で比較対象を選定する比較手法を基礎に，更なる欠陥検出感度向上を目指した．本報告では，検出画像の各画素について，参照すべき位置を複数のダイから得られるGolden画像を用いて求めて比較する画像内比較検査によって安定かつ高感度な検査を実現し，これが適用できないパターンでは，領域ごとに感度設定が可能なDie-to-Golden Die比較方式を自動実行することにより、非周期パターン·周期パターンを意識することなく高い感度を実現できることを示す．

著录项

来源
《精密工学会誌》 |2013年第940期|325-331|共7页
作者
前田俊二; 酒井薫; 浦野貴裕;
展开▼
作者单位

日立製作所横浜研究所;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种英语
中图分类仪器、仪表;机械制造工艺;
关键词
Visual inspection; Die-to-die comparison; Die-to-golden die comparison; Self-reference comparison; LSI;

背景別しきい値設定によるDie-to-Golden Die比較と画像内自己参照比較に基づく高感度複合欠陥検査

摘要

著录项

相关主题

期刊订阅