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絶対速度·変位センサの広帯域化とその除振装置への適用

机译：絶対速度·変位センサの広帯域化とその除振装置への適用

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感度校正用の検定コイルを逆起電力の検出コイルとし，これと内蔵の変位検出器とを用いて絶対速度·変位センサを既に実現した．本論文は，これらセンサの周波数特性の改善結果とFB応用を示したものである．結論は以下の通りである．(1)重力補償用機械ばねに起因する副振動を，動吸振器を付加した力学モデルで表現可能なことを示した．(2)絶対速度·変位センサの閉ループにINF挿入することにより，両センサともに高域周波数特性が改善されることを示した．(3)絶対変位センサの周波数特性を低域へのばすために，検定コイルによる逆起電力検出の出力をドライバ前段に加算するダンピングループを新たに付加した．(4)周波数特性を改善した絶対変位センサの検出信号をVCMにFBすることにより，VCM付き空圧式除振装置の機械インピーダンスを良好に操作できた．

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