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NEMs/MEMs技術によるタンパク質モータのナノ·マイクロデバイスへの応用

机译:NEMs/MEMs技術によるタンパク質モータのナノ·マイクロデバイスへの応用

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摘要

コンビュータの演算速度·処理能力の飛躍的向上の背景には,半導体技術における微小化技術の急速な発展がある.現在の微細加工技術は,シリコン基坂上にサブミクロンの加工寸法精度で回路網を書き込むことを可能にしている.さらに,この技術を用いることによって,機械要素やセンサなどをシリコン基板上に統合しで作成することができるようになってきた。

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