酸化セリウム砥粒によるガラスの化学機械研磨メカニズムの解析－砥粒のFT-IR·XPS測定による考察

佐藤誠

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酸化セリウム砥粒によるガラスの化学機械研磨メカニズムの解析－砥粒のFT-IR·XPS測定による考察

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本稿では化学的作用と機械的作用が同時もしくは順次生じながら研磨が進むことを化学機械研磨として扱うこととする．ガラス系材料の酸化セリウム砥粒による研磨は最も代表的な事例であり，比較的簡単に研磨実験ができる．この研磨の解析事例と著者らが行った実験·解析を中心に紹介する．また，SiCは新世代のパワーデバイス材料として最近非常に注目を集めている難加工材料である．このSiCの化学機械研磨の実験·解析についても紹介する．

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来源
《トライボロジスト》 |2014年第12期|744-751|共8页
作者
佐藤誠;
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作者单位

（株）ノリタケカンパニーリミテド開発·技術本部商品開発センター;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词

酸化セリウム砥粒によるガラスの化学機械研磨メカニズムの解析－砥粒のFT-IR·XPS測定による考察

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