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【24h】

MEMSセンサの自動車への応用

机译：MEMSセンサの自動車への応用

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約30 年前にMEMS 型センサがくるまに搭載された．従来はメカニカル方式のスイッチであったものが電子式となり，状態を細かくセンシングできるようになった．これにより制御システムが大きく発展した．またMEMS の特長である半導体プロセスの進展により，センサの大幅な小型化，また製造での量産効果によるコストダウンが進んできた．今後もさまざまなセンサがMEMS 技術の進化に伴って登場することが求められている．それには静電容量式に替わる次世代のセンシング方式，DRIEの次に柱となるプロセス技術が必要となり，その登場が期待される．さらにこれからは単機能のエレメントではなく，MEMS デバイスが薄膜の機能性材料，ナノマテリアルなどと融合し，統合的·複合的システムの構築が進むと思われる．

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