スキャン光学エンコーダによるギャップ計測に関する一研究－レーザ干渉スキャン光学系と位相同期検波による2 次元計測

牧野内進; 今井亨; 渡邉昭宏大原徹雄涌井伸二

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スキャン光学エンコーダによるギャップ計測に関する一研究－レーザ干渉スキャン光学系と位相同期検波による2 次元計測

机译：スキャン光学エンコーダによるギャップ計測に関する一研究－レーザ干渉スキャン光学系と位相同期検波による2 次元計測

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本研究では，従来のレーザ光を用いた干渉型エンコーダ光学系に，スキャナを組みわせたスキャンエンコーダを用いた3 次元計測を提案する．スキャナで変調されたレーザ光束を，移動スケール上で干渉させることによって，スケール格子の方向変位とギャップ方向の変位の両情報を含む高調波信号を得ることができる．本原理による格子方向検出については文献12)にてすでに報告している．本報告では，ギャップ計測についての原理と実験による検証について述べる．

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来源
《精密工学会誌》 |2010年第905期|552-556|共5页
作者
牧野内進; 今井亨; 渡邉昭宏大原徹雄涌井伸二;
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作者单位

株式会社ニコン;

東京農工大学大学院;

NanoWave Inc.;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
关键词

スキャン光学エンコーダによるギャップ計測に関する一研究－レーザ干渉スキャン光学系と位相同期検波による2 次元計測

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