空気静圧軸受型ガラス基板搬送装置における薄板ガラスの浮上·変形特性

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2013年第942期|559-564|共6页
• 作者

  大岩尚樹; 平山朋子; 松岡敬矢部寛;

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• 作者单位

  （株）ジェイテクト;

  同志社大学理工学部;

  京都大学工学部;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 日语
• 中图分类 仪器、仪表;机械制造工艺;
• 关键词

  Non-contact aerostatic conveyer; Glass substrate; Deformation; Inherent orifice restrictor; Thin plate theory;