テラへルツ時間領域分光法とイメージングへの応用

深澤亮一

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テラへルツ時間領域分光法とイメージングへの応用

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テラヘルツ波は，その電磁波のもつ透過性と物質固有のスペクトルが得られるという特長を生かして，化学分析や非破壊検査に利用されつつある．その応用の広がりは，工業材料の評価，医薬品の評価，美術品·文化財の調査，製造ラインにおける品質管理，建築物の診断，危険物の検知，生体分子分光，バイオセンシング，社会インフラや半導体素子などの非破壊検査など多岐の分野にわたると考えられ，今後の発展が期待されている．本稿では，近年急速に発展しているパルス状のテラヘルツ波（以下，テラヘルツパルス波と呼ぶ）を利用した新しい計測技術について解説する．また，本計測技術のイメージングへの応用，計測システムの実際，さらに，産業応用の観点から非破壊検査への展開を紹介する．

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来源
《精密工学会誌》 |2016年第975期|213-216|共4页
作者
深澤亮一;
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作者单位

（有）スペクトルデザイン;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类仪器、仪表;机械制造工艺;
关键词
Terahertz wave; Time-domain spectroscopy; Imaging; Non-destructive evaluation;

テラへルツ時間領域分光法とイメージングへの応用

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