超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータにおける微小振れに関する検討

著录项

• 来源
  《同誌社大学理工学研究報告》 |2008年第4期|234-240|共7页
• 作者

  北川貴一; 平山朋子; 松岡敬角谷雅人檀上弥輝佐々木勝美矢部寛Kitagawa TakakazuHirayama TomokoMatsuoka TakashiKadotani MasatoDanjyo HirokiSasaki KatsumiYabe Hiroshi;

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• 作者单位

  Кузбасская государственная педагогическая академия, Новокузнецк Кемеровской обл.;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 日语
• 中图分类 工程基础科学;
• 关键词

  静圧軸受; 微小振れ; 表面絞り; 超精密位置決め; 空気圧サーボアクチュエータ; Aerostatic bearing; Nano-fluctuation; Surface-restriction; Ultraprecise positioning; Pneumatic servo actuator;